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產(chǎn)品分類
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:機械測試儀TriboLab CMP

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:德國布魯克BRUKER
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
機械測試儀TriboLab CMP****小規(guī)模研發(fā)系統(tǒng)中的 ROI,此臺式工具可再現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,而無需在生產(chǎn)設備上停機。 機械測試儀TriboLab CMP靈活參數(shù)控制,允許量身定制的測試,以加快材料開發(fā),并**優(yōu)化流程。 專家應用和支持,我們與大型安裝基地合作多年,為您的實驗室提供專業(yè)知識。
詳情介紹:

機械測試儀TriboLab CMP利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領域?qū)I(yè)知識,為業(yè)界**的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能?;诒咎自O備產(chǎn)生的高精度和高可重復性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。機械測試儀TriboLab CMP是市場上**能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具,可準確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。


用于 CMP 的小型研發(fā)規(guī)模專業(yè)系統(tǒng)

布魯克的機械測試儀TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設計,是具有可靠、靈活和高效的臺式設備。


  • 重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產(chǎn)設備上停機
  • 提供****的測量可重復性和細節(jié)檢測
  • 允許在小樣品上進行測試,比全晶圓測試節(jié)省大量成本



機械測試儀TriboLab CMP板載診斷系統(tǒng)可以更好地了解拋光過程


  • 比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù)
  • 從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù)
  • 通過更完整、更詳細的數(shù)據(jù)實現(xiàn)早期流程開發(fā)決策



機械測試儀TriboLab CMP具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置


  • 拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊
  • 輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓
  • 可同時安裝多個樣品,測試更靈活



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